(사)에스이엘안전기술원 - 초순수 및 순수분석

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초순수 및 순수분석

순수(Pure water)는 사전적 의미로는 불순물을 포함하지 않는 물을 뜻하며, H₂O 로만 구성되어 있는 것이다. 그러나 완전한 순수는 이론적으로 생산이 불가하여 통상적으로는 불순물이 극히 적은 물을 의미한다.
분야별로 요구되는 순수의 정도가 다르기 때문에 순수의 정의는 분야별로 조금씩 차이가 있다.
초순수(Ultrapure water)는 일반적인 순수보다 불순물이 더 적은 물이지만 일반적으로 그 경계는 수치상으로 명확히 구분되어있지 않다. 초순수에 대한 기준은 업종별로 다르지만 일반적으로 전지저항률(비저항)이 10.0 MΩ･cm 이상인 물을 초순수로 본다.
미국 재료협회(ASTM)에서는 Type I, II, III 로 구분하며 Type I 이 초순수이고 Type III 가 순수이다.

항목(순수)			기준치(Spec)	단위
1	Temperature		16 ~ 50	℃
2	pH		6.5 ~ 9.0	-
3	Conductivity		< 20	μS/cm
4	Turbidity		< 1	NTU
5	Chloride		< 50	mg/L
6	Ammonium		< 3	mg/L
7	Sulfate		< 42	mg/L
8	Silica		<0.05	mg/L
9	Fatty Acids		< 14	mg/L
10	Total Organic Carbons		< 4	mg/L
11	Bacteria	SRB	Insignificant or very low activity
11	Bacteria	APB	Insignificant or very low activity