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초순수 및 순수분석

● 순수(Pure Water)와 초순수(Ultrapure Water)에 관한 정의

  • 순수(Pure water)는 사전적 의미로는 불순물을 포함하지 않는 물을 뜻하며, H2O 로만 구성되어 있는 것이다. 그러나 완전한 순수는 이론적으로 생산이 불가하여 통상적으로는 불순물이 극히 적은 물을 의미한다.
  • 분야별로 요구되는 순수의 정도가 다르기 때문에 순수의 정의는 분야별로 조금씩 차이가 있다.
  • 초순수(Ultrapure water)는 일반적인 순수보다 불순물이 더 적은 물이지만 일반적으로 그 경계는 수치상으로 명확히 구분되어있지 않다. 초순수에 대한 기준은 업종별로 다르지만 일반적으로 전지저항률(비저항)이 10.0 MΩ・cm 이상인 물을 초순수로 본다.
  • 미국 재료협회(ASTM)에서는 Type I, II, III 로 구분하며 Type I 이 초순수이고 Type III 가 순수이다.
항목 (초순수) 기준치(Spec) 단위
TOC (Total Organic Carbons) < 20 μg/L
Bacteria - CFU/mL
Silica < 5 μg/L

항목(순수) 기준치(Spec) 단위
1 Temperature 16 ~ 50
2 pH 6.5 ~ 9.0 -
3 Conductivity < 20 μS/cm
4 Turbidity < 1 NTU
5 Chloride < 50 mg/L
6 Ammonium < 3 mg/L
7 Sulfate < 42 mg/L
8 Silica <0.05 mg/L
9 Fatty Acids < 14 mg/L
10 Total Organic Carbons < 4 mg/L
11 Bacteria SRB Insignificant or very low activity
APB